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IC基板平坦度自動検査装置　SDM-200

・基板全面を3mm～任意のマス目交点を測定
・分解能1μm
・繰り返し精度±10μm以内

オートローダ　SL-22RBE

・ESI社製レーザートリマーにセラミック基板の供給／収納
・多簡接ロボットによりフレキシブルなハンドリングが可能
・ハンドの交換により50～150ｍｍ口ワークに対応
・ワーク交換時間3.5秒

サンドブラストトリミング装置

・高抵抗・高精度測定
・初期設定からトリム係数算出
・測定／トリミングを並列処理
・トリミング高抵抗値確認モード
・抵抗値の解析処理機能

レーザートリマー用オートローダ　SL-42TE

・ESI社製レーザートリマーにセラミック基板の供給/収納
・直交型ロボットによりメンテナンスが容易
・棚型マガジンにて両面印刷パターンに最適
・ワーク交換時間3.5秒